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22 5 月, 2024半導體週邊耗材是指在半導體製造過程中使用的各種耗材和輔助材料,這些材料在製造過程中可能被消耗或需要定期更換。以下是一些常見的半導體週邊耗材:
- 晶圓材料:包括矽晶圓、氮化鎵晶圓、碳化矽晶圓等,是製造半導體器件的基礎材料。
- 化學品:用於清潔、蝕刻、濕化學氣相沉積(CVD)等製程,如蝕刻劑、清潔溶劑、濕化學氣相沉積前驅體等。
- 光罩:用於光影刻製(photolithography)製程,將圖案傳輸到晶圓上,通常是透明的玻璃或石英材料。
- 蝕刻劑和蝕刻液:用於蝕刻製程,從晶圓表面去除不需要的材料,如金屬、氧化物等。
- 氣體:用於各種製程中的氣相反應,如氮氣、氫氣、氟化氫等。
- CMP(化學機械研磨)研磨液:用於平坦化晶圓表面的製程中。
- 接著劑和膠黏劑:用於封裝和封膠,以及晶片與封裝基板之間的粘合。
- 金屬粉末和薄膜:用於金屬化製程,例如電鍍、濺鍍等。
這些只是一些常見的例子,半導體製造過程中使用的耗材和輔助材料可能還有其他各種不同類型的產品。具體使用哪些耗材取決於所需的製程和製造設備。


